Feature

Auto Gate Powder Protection Valve 역압 방지 밸브 기능 ( Close Time < 0.2sec)→ Pump Trip & 정전 시 Wafer 보호

직관 유로형 역압 차단 Valve : 기존 Check Type 역압 차단 밸브의 Conductance 개선( 직관형 유로 )

수직 개폐형 Valve : Sealing 면의 긁힘이나 훼손을 방지하며 정확한 Valve Close 가 가능

적용 공정 : CVD ,ETCH, DIFFUSION 등의 POWDER 공정 및 부식 공정 ( 300mm, 450mm process, LCD line )
Compact 한 디자인과 중량이 가벼워 설치 및 service 가 용이

Specification

P/N

PV-XXX-AL

PV-XXX-AL-HTR-RS485

Body

AL6061(Specialized Coated)

Plate

Al 6061 - Specialized Coated

(Hard Coat. Surface Polishing)

Size( mm, Ø ),Weight(Kg)

MF160 (H161, D303, ≒9.7Kg)

MF200 (H172, D338, ≒14Kg)

Connection(flange)

MF160/MF200

External Leak Rate

1 x 10-8  mbar, He

Heated ( Body )

150℃  Heated ( Option )

Heater Temp. 통신

None

RS485 Heater Temp. 

통신 (Option)

Speed of Response (sec)

( Emergency  State)

<0.05sec for MF160 (Open to close)