Feature

역압 차단 기능 ( Close Time < 0.2sec) → Pump Trip & 정전 시 Wafer 보호

직관 유로형 역압 차단 Valve : → 기존 Check Type 역압 차단 밸브의 Conductance 개선

수직 개폐형 Valve → Sealing면의 긁힘이나 훼손을 방지하며 정확한 Valve Close가능

적용 공정 : CVD ,Etch, Diff. 등의 Powder 공정 및 부식 공정
※ N2 Barrier : Valve 내부의 powder에 취약한 부분을 최소화하고 그 부위에 N2 Barrier를 형성시켜 Powder로 인한 Valve의 내부 부식 및 오작동을 방지

Specification

P/N

RSPV-XXX-AG-N2-HTR-RS485

Body

AL6061(Specialized Coated)

Plate

 Al 6061 - Specialized Coated

(Hard Coat. Surface Polishing)

Size( mm, Ø )

MF125

H 200

D 325

MF160

H 201

D 399

Connection(flange)

 MF160

In & External Leak Rate

1 x 10-8  mbar, He

Heated ( Body )

150℃  Heating

N2 Flow Rate

< 50SCCM  

N2 Flow Unit

MFC

Heating Jacket

Teflon Sheet  Jacket

Valve Status 통신

RS-485

Speed of Response (sec)

( Emergency  State)

<0.2 sec, NW160

 (Open to close -upgrade)